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學(xué)校(光刻機(jī))(曝光機(jī))(蝕刻機(jī))裝卸搬運(yùn)(移入移出運(yùn)輸)

2020-12-21  來自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):269

近日Arthur觀察到,實(shí)?驗(yàn)?室?搬?遷?北方華創(chuàng)(Naura)官方宣布,學(xué)校(光刻機(jī))(曝光機(jī))(蝕刻機(jī))裝卸搬運(yùn)(移入移出運(yùn)輸)ICP等離子刻蝕機(jī)第***0腔交付儀式近日在北京亦莊基地舉行,NAURA刻蝕機(jī)研發(fā)團(tuán)隊(duì)見證了這一歷史性時(shí)刻。這不僅是公司發(fā)展征程中的重要里程碑,更是國(guó)產(chǎn)刻蝕機(jī)在歷經(jīng)了20年自主創(chuàng)新后得到客戶廣泛認(rèn)可的重要標(biāo)志,未來會(huì)持續(xù)在等離子刻蝕ICP技術(shù)領(lǐng)域?qū)で蟾嗤黄啤?/span>北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司成立于2001年,由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司、北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司戰(zhàn)略重組而成,是目前國(guó)內(nèi)集成電路工藝裝備的企業(yè)。實(shí)?驗(yàn)?室?搬?遷?

北方華創(chuàng)成立后就開始組建團(tuán)隊(duì)鉆研刻蝕技術(shù),2004年設(shè)備成功起輝,2005年8英寸ICP刻蝕機(jī)在客戶端上線,并于2007年獲得***科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)。 ??半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?

目前,北方華創(chuàng)的刻蝕設(shè)備已經(jīng)覆蓋集成電路、LED、封裝、功率半導(dǎo)體、MEMS微機(jī)電系統(tǒng)、化合物半導(dǎo)體、硅基微顯、分析儀器、功率器件、光通信器件等多個(gè)領(lǐng)域,硅刻蝕機(jī)已突破14nm技術(shù),進(jìn)入主流芯片代工廠。其中,12英寸ICP刻蝕機(jī)在實(shí)現(xiàn)客戶端28nm國(guó)產(chǎn)化替代,并在14/7nm SADP/SAQP、存儲(chǔ)器、3D TSV等工藝應(yīng)用中發(fā)揮著重要作用。 ??半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?

——刻蝕:芯片制造中的關(guān)鍵工藝之一

刻蝕可以分為濕法刻蝕和干法刻蝕,濕法刻蝕各向異性較差, ??半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?而干法刻蝕是目前主流的刻蝕技術(shù),其中以等離子體干法刻蝕為主導(dǎo)。所謂等離子體干法刻蝕,就是利用等離子體進(jìn)行薄膜微細(xì)加工的技術(shù),具有良好的各向異性、工藝可控性,廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)品制造領(lǐng)域。在典型的干法刻蝕工藝過程中,一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體。等離子體刻蝕設(shè)備包括電容性等離子體刻蝕設(shè)備(CCP, Capacitively Coupled Plasma)和電感性等離子體刻蝕設(shè)備 ??半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?(ICP, Inductively Coupled Plasma)。CCP刻蝕設(shè)備主要應(yīng)用于刻蝕氧化物、氮化物等硬度高、需要高能量離子反應(yīng)刻蝕的介質(zhì)材料,ICP刻蝕設(shè)備主要應(yīng)用于刻蝕單晶硅、多晶硅等材料。刻蝕作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵工藝之一,根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì),刻蝕設(shè)備約占晶圓制造設(shè)備價(jià)值量的24%左右。刻蝕設(shè)備市場(chǎng)的行業(yè)集中度較高,目前,半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的主要供應(yīng)商為泛林半導(dǎo)體實(shí)?驗(yàn)?室?搬?遷?(Lam Research)、東京電子(TEL)、應(yīng)用材料(AMAT)三家,而Lam Research占據(jù)刻蝕設(shè)備市場(chǎng)的半壁江山。根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)顯示,2019年刻蝕設(shè)備市場(chǎng)約為115億美元,其中Lam Research獨(dú)占52%的市場(chǎng)份額,TEL和AMAT分別占據(jù)20%和19%的市場(chǎng)份額。 ??半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?

近年來,隨著國(guó)內(nèi)芯片制造行業(yè)的興起,中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備需求市場(chǎng)快速增加。由于美國(guó)對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)的進(jìn)一步封鎖,國(guó)內(nèi)企業(yè)如中芯、實(shí)?驗(yàn)?室?搬?遷?長(zhǎng)江存儲(chǔ)等在今年加大了對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備(尤其是海外廠商)的采購,亞化咨詢預(yù)計(jì),2020年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)將突破160億美元,刻蝕設(shè)備市場(chǎng)將達(dá)到25億美元。 ??半?導(dǎo)?體?設(shè)?備?搬?運(yùn)?


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