上海半導體設備搬遷報道6月2日，北京‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍科益虹源光電技術(shù)有限公司（以下簡稱“科益虹源”）工商信息發(fā)生變更，其中注冊資本由1.2億元增至2.02億元，增幅68%，同時新增哈勃科技和徐州光遠股權(quán)投資合伙企業(yè)(有限合伙)為股東。‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍據(jù)悉，科益虹源由中國科學院微電子所、亦莊國投、國科科儀等于2016年7月共同出資成立，專注于準分子激光器及光電技術(shù)產(chǎn)品等的研制、生產(chǎn)、銷售及服務，是國內(nèi)少數(shù)具備準分子激光技術(shù)自主研究和產(chǎn)品化能力的公司，其系列產(chǎn)品填補了國內(nèi)市場空白。‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍北京亦莊此前報道，作為北京亦莊開發(fā)區(qū)光刻機零部件技術(shù)創(chuàng)新中心建設的牽頭單位，科益虹源自主研發(fā)的光刻用準分子激光系統(tǒng)打破了美國和日本的長期壟斷地位。‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍財經(jīng)周刊曾發(fā)文稱，上海微電子將在2021年交付的28nm光刻機，由上海微電子負責光刻機設計和總體集成，北京科益虹源提供光源系統(tǒng)，北京國望光學提供物鏡系統(tǒng)，國科精密提供曝光光學系統(tǒng)，華卓精科提供雙工作臺，浙江啟爾機電提供浸沒系統(tǒng)。‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍數(shù)據(jù)顯示，哈勃科技作為華為旗下的投資公司，自2019年成立以來，對外投資的半導體企業(yè)已達數(shù)十家，涵蓋模擬芯片、碳化硅材料、功率芯片、人工智能芯片、車載通訊芯片、連接器等當下半導體產(chǎn)業(yè)熱門產(chǎn)品線領(lǐng)域。如今，哈勃科技成為科益虹源的股東之一，這或許意味著，華為的半導體產(chǎn)業(yè)版圖再次擴張，延伸至光刻領(lǐng)域。