潔凈室設(shè)備搬運(yùn)I無塵室設(shè)備移入移出移位打包運(yùn)輸?shù)膩喩獔蟮溃?/span>光刻機(jī)的重要性人盡皆知，作為芯片制造的重要設(shè)備，掌握越半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍的光刻機(jī)生產(chǎn)制造技術(shù)，在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)就具備越大的話語權(quán)。而ASML是能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的半導(dǎo)體制造商，各種優(yōu)勢盡顯。訂單源源不斷，每一臺光刻機(jī)都會被哄搶。然而ASML可能不再是因?yàn)槎砹_斯已經(jīng)確定要自研光刻機(jī)了，而且日本也開始行動，佳能打算造3D封裝光刻機(jī)。俄羅斯，日本在光刻機(jī)方面具體有怎樣的情況呢？ASML還能保住優(yōu)勢地位嗎？自從ASML實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)量產(chǎn)以來，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍光刻機(jī)市場就掌握在這家荷蘭公司手中雖然EUV光刻機(jī)的自由出貨不是ASML說了算的，但背后的瓦森納協(xié)定成員國們給ASML提供了很大的底氣。說過公開圖紙別人也造不出來，這明擺著是對持有核心技術(shù)的自信。先不說ASML會不會公開圖紙，就算ASML公開了，別人也未必會用，因?yàn)槎砹_斯已經(jīng)證明了要另辟蹊徑，在全新的X射線道路上研發(fā)半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍光刻機(jī)。據(jù)俄媒消息，俄羅斯定下光刻機(jī)研發(fā)目標(biāo)，投入6.7億盧布，采用X射線制造等級和EUV相同的光刻機(jī)設(shè)備。主流傳統(tǒng)的半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍光刻機(jī)路線是從EUV極紫外光出發(fā)，而俄羅斯是從X射線進(jìn)行探索。如果是一般的路線可能不會引起太多人的重視，但X射線的波長比EUV還要短，可以復(fù)刻出分辨率更高的芯片線路圖。這意味著俄羅斯X射線光刻機(jī)的確有可能做到媲美EUV光刻機(jī)，也許只是時間問題而已。除了俄羅斯，日本光刻機(jī)廠商佳能也有行動。據(jù)日經(jīng)中文網(wǎng)報道，佳能打算在2023年上市一臺3D半導(dǎo)體光刻機(jī)。采用芯片堆疊技術(shù)原理，將多層芯片實(shí)現(xiàn)堆疊。佳能所做的這臺3D封裝光刻機(jī)和時下熱門的芯片堆疊話題是一個路子，核心觀念就是把多塊芯片堆加在一起，實(shí)現(xiàn)半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍性能。