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半導體設備搬遷搬運-精密儀器設備裝卸搬遷

2022-06-19  來自: 亞瑟半導體設備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):502

半導體設備搬遷搬運-精密儀器設備裝卸搬遷的亞瑟報道:半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍在 VLSI 2021 上,imec 推出了 forksheet 器件架構,以將納米片晶體管系列的可擴展性擴展到 1nm 甚至更半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍邏輯節(jié)點。在forksheet器件中,由于減小了 n 型和 p 型晶體管之間的間距,因此可以使有效溝道寬度大于傳統(tǒng)的環(huán)柵納米片器件。這有利于晶體管的驅動電流(或直流性能)。此外,更小的n-to-p間距可以進一步降低標準單元高度,逐步將標準單元推向4T軌道高度設計,這意味著4條單元內金屬線適合標準單元高度范圍。半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍但是對于 4T cell設計和 16nm 的金屬間距,即使叉板變得太窄,也難以提供所需的性能。P. 半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍等人在 2022 年 VLSI 論文中強調了這一挑戰(zhàn)。這就是互補 FET 或 CFET 可以提供緩解的地方。因為在 CFET 架構中,n 和 pMOS 器件相互堆疊,從而進一步半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍化有效溝道寬度。半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍:“在 CFET 架構中,n 型和 pMOS 器件相互堆疊。堆疊從單元高度考慮中消除了 np 間距,允許進一步半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍化驅動電流。我們還可以使用由此產生的面積增益將軌道高度推至 4T 及以下。”研究人員正在探索兩種可能的集成方案,以實現(xiàn)具有挑戰(zhàn)性的 nMOS-pMOS 垂直堆疊:單片(monolithic)與順序(sequential)。半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍單片 CFET 流程從底部通道的外延生長開始,然后是中間犧牲層(sacrificial layer)的沉積,然后是頂部溝道的外延生長。Naoto Horiguchi表示:“雖然這似乎是構建 CFET 直接的方法,但處理流程相當復雜。例如,堆疊方法產生了非常高的縱橫比垂直結構,這為進一步圖案化鰭、柵極、間隔物和源極/漏極觸點帶來了關鍵挑戰(zhàn)。”或者,可以使用由幾個塊組成的順序制造流程來制造 CFET。首先,底層設備被處理到contacts。接下來,使用晶圓對晶圓鍵合技術,通過晶圓轉移在該層的頂部創(chuàng)建一個覆蓋半導體層。然后,集成頂層器件,連接頂柵和底柵。Julien Ryckaert說:“從集成的角度來看,這個流程比單片流程更簡單,因為底層和頂層設備都可以以傳統(tǒng)的‘二維’方式單獨處理。此外,它還提供了為 n 型和 p 型器件集成不同溝道材料的半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍可能性。”




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