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半導體設備捆包搬運-精密儀器設備裝卸搬運捆包運輸

2022-12-05  來自: 亞瑟半導體設備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):112

半導體設備捆包搬運-精密儀器設備裝卸搬運捆包運輸?shù)膩喩獔蟮溃?a href="http://m.dealvat.com/" style="margin: 0px; padding: 0px; color: rgb(123, 77, 54); text-decoration-line: none; font-family: 宋體; font-size: 14px; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);">‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍產(chǎn)業(yè)資訊,愛發(fā)科株式會社(ULVAC)的“ENTRON-EX W300”平臺基于單片式多腔體理念,被廣泛應用于鋁(Al)、鎢(W)等金屬配線制程。“ULTiNA”是一種用于形成高密度TiN(氮化鈦,以下簡稱為:“TiN”)膜且膜壓可控的濺射模組(Sputtering Module),且可搭載于“ENTRON-EX”此外,“ULTiNA”模組還搭載了一種可控制高密度TiN薄膜壓力的新型技術,而利用以往的成膜技術,很難控制膜壓。‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍利用該技術形成的TiN薄膜,可用做硬掩膜(Hard Mask)。硬掩膜可用作加工‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍的5納米邏輯半導體的層間絕緣膜。此外,愛發(fā)科也計劃將其推廣應用于3納米邏輯半導體的生產(chǎn)‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍由于硬掩膜可提高蝕刻選擇比,所以高密度膜是理想選項。以往的高密度TiN薄膜具有較大的膜壓,因此在對層間絕緣膜實施蝕刻加工后,容易出現(xiàn)線路(Pattern)變形的現(xiàn)象‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍愛發(fā)科此次成功研發(fā)的新型TiN成膜技術,不僅可維持薄膜的高密度,也可以控制薄膜的拉伸和壓縮的壓力。利用該技術制成的高密度TiN薄膜擁有與層間絕緣膜吻合的壓力。‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍搭載了愛發(fā)科自主研發(fā)的壓力控制技術,僅需調(diào)整施加給晶圓側的RF電力,就可在維持薄膜特性(不含壓力)的情況下,任意調(diào)整薄膜壓力,即自由拉伸和壓縮。此外,“ULTiNA”不僅具備特殊的成膜特性,又兼顧了作‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍半導體設備的量產(chǎn)機被‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍采用的“粉塵超低排放”。‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍利用“ULTiNA”形成的TiN膜在分布、電阻率、密度、光學特性等薄膜特性方面的表現(xiàn)不亞于傳統(tǒng)TiN膜,因此除硬掩膜外,也可應用于其他方面。實際上,已開始被應用于硬掩膜以外的成膜制程。

愛發(fā)科表示,由于向業(yè)界公布了上述可調(diào)整壓力的選擇項,因此打開了之前被限制的用途領域。

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