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半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)_精密儀器設(shè)備搬移

2021-05-11  來(lái)自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):268

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什么是光刻機(jī)

光刻機(jī)(Mask Aligner) 又名:掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。Photolithography(光刻)意思是用光來(lái)制作一個(gè)圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過(guò)程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“復(fù)制”到硅片上的過(guò)程。

光刻的目的

使表面具有疏水性,增強(qiáng)基底表面與光刻膠的黏附性。量臺(tái)、曝光臺(tái):承載硅片的工作臺(tái),也就是本次所說(shuō)的雙工作臺(tái)。光束矯正器:矯正光束入射方向,讓激光束盡量平行。能量控制器:控制最終照射到硅片上的能量,曝光不足或過(guò)足都會(huì)嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。光束形狀設(shè)置:設(shè)置光束為圓型、環(huán)型等不同形狀,不同的光束狀態(tài)有不同的光學(xué)特性。遮光器:在不需要曝光的時(shí)候,阻止光束照射到硅片。能量探測(cè)器:檢測(cè)光束最終入射能量是否符合曝光要求,并反饋給能量控制器進(jìn)行調(diào)整。掩模版:一塊在內(nèi)部刻著線路設(shè)計(jì)圖的玻璃板,貴的要數(shù)十萬(wàn)美元。掩膜臺(tái):承載掩模版運(yùn)動(dòng)的設(shè)備,運(yùn)動(dòng)控制精度是nm級(jí)的。物鏡:物鏡由20多塊鏡片組成,主要作用是把掩膜版上的電路圖按比例縮小,再被激光映射的硅片上,并且物鏡還要補(bǔ)償各種光學(xué)誤差。技術(shù)難度就在于物鏡的設(shè)計(jì)難度大,精度的要求高。硅片:用硅晶制成的圓片。硅片有多種尺寸,尺寸越大,產(chǎn)率越高。題外話,由于硅片是圓的,所以需要在硅片上剪一個(gè)缺口來(lái)確認(rèn)硅片的坐標(biāo)系,根據(jù)缺口的形狀不同分為兩種,分別叫flat、notch。內(nèi)部封閉框架、減振器:將工作臺(tái)與外部環(huán)境隔離,保持水平,減少外界振動(dòng)干擾,并維持穩(wěn)定的溫度、壓力。

光刻機(jī)分類

光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡(jiǎn)便性分為三種,手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)。

A 手動(dòng):指的是對(duì)準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過(guò)手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來(lái)完成對(duì)準(zhǔn),對(duì)準(zhǔn)精度可想而知不高了;

B 半自動(dòng):指的是對(duì)準(zhǔn)可以通過(guò)電動(dòng)軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧;

C 自動(dòng):指的是從基板的上載下載,曝光時(shí)長(zhǎng)和循環(huán)都是通過(guò)程序控制,自動(dòng)光刻機(jī)主要是滿足工廠對(duì)于處理量的需要。

精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍認(rèn)為光刻機(jī)可以分為接近接觸式光刻、直寫(xiě)式光刻、以及投影式光刻三大類。接近接觸式通過(guò)無(wú)限靠近,復(fù)制掩模板上的圖案;投影式光刻采用投影物鏡,將掩模板上的結(jié)構(gòu)投影到基片表面;而直寫(xiě),則將光束聚焦為一點(diǎn),通過(guò)運(yùn)動(dòng)工件臺(tái)或鏡頭掃描實(shí)現(xiàn)任意圖形加工。光學(xué)投影式光刻無(wú)損傷的優(yōu)點(diǎn),一直是集成電路主流光刻技術(shù)。


運(yùn)營(yíng)項(xiàng)目

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