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上海半導(dǎo)體設(shè)備裝卸-精密儀器設(shè)備裝卸

2022-05-23  來自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):173

上海半導(dǎo)體設(shè)備裝卸-精密儀器設(shè)備裝卸報(bào)道:半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍華為表示,隨著芯片尺寸的不斷微縮,DRAM工藝的微縮變得越來越困難,平面DRAM 的“摩爾定律”' (Moore's Law) 正在逐漸走向極限,當(dāng)今各大廠商都在研究3D DRAM作為解決方案來延續(xù)DRAM的使用。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍按照華為所說,3DDRAM是一種將存儲單元堆疊至邏輯單元上方的新型存儲方式,它可以實(shí)現(xiàn)單位面積上更高的容量。本來編者以為,這是華為對未來技術(shù)的一個(gè)預(yù)測,半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍消息卻透露,華為在相關(guān)技術(shù)上原來已經(jīng)有了研究成果。據(jù)半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍介紹,在 VLSI Symposium 2022 上,將進(jìn)行各種有關(guān)內(nèi)存的演講,其中華為公司名為“采用垂直CAA型IGZO FET的3D-DRAM技術(shù)”的演講將備受關(guān)注。根據(jù)中國科學(xué)院微電子研究所去年發(fā)布的文章,華為研究人員的這篇論文也曾經(jīng)亮相過第67屆電子器件大會(IEDM 2021)。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍報(bào)道指出,DRAM是存儲器領(lǐng)域重要的分支之一?;阢熸変\氧(IGZO)晶體管的2T0C-DRAM有望克服傳統(tǒng)1T1C-DRAM的微縮挑戰(zhàn)。但目前相關(guān)研究都是基于平面結(jié)構(gòu),形成的2T0C單元(~20F2)比相同特征尺寸下的1T1C單元(6F2)大很多,缺少密度優(yōu)勢。 

針對IGZO-DRAM的密度問題,中國科學(xué)院微電子研究所李泠研究員團(tuán)隊(duì)聯(lián)合華為/海思團(tuán)隊(duì)提出了新型的垂直環(huán)形溝道器件結(jié)構(gòu)(Channel-All-Around, CAA)。該結(jié)構(gòu)有效減小了器件面積,且支持多層堆疊,通過將上下兩個(gè)CAA器件直接相連,半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍每個(gè)存儲單元的尺寸可減小至4F2,使IGZO-DRAM擁有了密度優(yōu)勢。團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了50nm溝長的CAA IGZO FET,其開態(tài)電流大于30μA/μm,關(guān)態(tài)電流小于1.8×10-17μA/μm,同層相連的2T0C單元可以達(dá)到300s的保持時(shí)間。該研究成果將推動IGZO晶體管在高密度DRAM領(lǐng)域的應(yīng)用,并以題為“Novel Vertical Channel-All-Around(CAA) IGZO FETs for 2T0C DRAM with High Density beyond 4F2 by Monolithic Stacking”入選IEDM 2021,同時(shí)獲選Highlight Paper和Top Ranked Student Paper半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍華為/海思黃凱亮博士為共同一作,耿玓副研究員和李泠研究員為通訊作者。  


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